Sputtermasken, Bedampfungsmasken
Bei den Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD- Verfahren, engl. physical vapour deposition), werden zur Herstellung der Strukturen Masken benötigt. Diese Masken können kostengünstig und schnell mittels Laserschneiden hergestellt werden. Strukturgrößen <40µm sind damit noch sicher darstellbar.
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